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D07-19C型质量流量控制器(D07-19C Mass Flow Controller)

型    号:D07-19C型
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质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

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D07-19C型质量流量控制器(D07-19C Mass Flow Controller)

标 准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa

输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA;-15V,200mA
输入设定电压…………0~+5.00V
输出电压检测…………0~+5.00V



技术参数:

满量程流量范围(N2)

5SCCM30SLM

控制范围

2100F.S.

阀类型(及阀初始状态)

电磁调节阀(常闭)

准确度

≤10SLM

±1F.S.

10SLM

±2F.S.

线性

≤10SLM

±0.51F.S.

10SLM

±2F.S.

重复精度

±0.2F.S.

温度系数

Zero:±0.1%F.S./

Span:±0.2%F.S./

响应时间

1sec

工作温度范围

545

工作压差

≤10SLM

0.10.5MPa

10SLM

0.10.3MPa

耐压

3MPa

漏气率

1×10-9SCCSHe

密封材料

氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶

接头选择

VCR

1/4”φ4hoseφ6hose

Swagelok

1/8”1/4”φ3φ6mm

电插头形式

DB15 pin(Male)

抗电磁干扰

CE

重量

1.2Kg

 


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