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D07-7B型 质量流量控制器

型    号:D07-7B型
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质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

D07-7B型D07-7B型 质量流量控制器的详细资料:



D07-7B型 质量流量控制器

技术参数:

 

满量程流量范围(N2)

5SCCM~10SLM

控制范围

2~100%F.S.

阀类型(及阀初始状态)

电磁调节阀(常闭)

准确度

±1.5%F.S.

线性

±0.5~1.5%F.S.

重复精度

±0.2%F.S.

响应时间

≤7sec

工作温度范围

5~45℃

工作压差

0.1~0.5MPa

耐压

3MPa

漏气率

1×10-8atm.cc/sec He

密封材料

氟橡胶(或氯丁橡胶)

电插头形式

DB15 pin(Female)

接头选择

VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose
Swagelok 1/4”或φ6、φ3

重量

1.1Kg

 


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