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D07-19BM型质量流量计

型    号:D07-19BM型
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质量流量计(MFM)用于对气体的质量流量进行精密地测量。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

D07-19BM型D07-19BM型质量流量计的详细资料:



D07-19BM型质量流量计

标 准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa 

输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA;-15V,50mA
输出电压检测…………0~+5.00V



技术参数:
 

满量程流量范围(N2)

5SCCM30SLM

控制范围

2100F.S.

准确度

≤10SLM

±1F.S.

10SLM

±2F.S.

线性

≤10SLM

±0.51F.S.

10SLM

±2F.S.

重复精度

±0.2F.S.

响应时间

4sec

工作温度范围

545

工作压差

0.02MPa

耐压

10MPa

漏气率

1×10-9SCCSHe

密封材料

氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶

接头选择

VCR

1/4”φ4hoseφ6hose

Swagelok

1/8”1/4”φ3φ6mm

电插头形式

DB15 pin(Male)

抗电磁干扰

CE

重量

0.7Kg

 


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