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D07-7BM 型质量流量计

型    号:D07-7BM 型
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质量流量计(MFM)用于对气体的质量流量进行精密地测量。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

D07-7BM 型D07-7BM 型质量流量计的详细资料:



D07-7BM 型质量流量计

标 准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa

输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA,-15V,50mA
输出电压检测…………0~+5.00V

技术参数:
 

 

满量程流量范围(N2)

5SCCM10SLM

控制范围

2100F.S.

准确度

±1.5F.S.

线性

±(0.51.5)%F.S.

重复精度

±0.2F.S.

响应时间

7sec

工作温度范围

545

工作压差

0.01MPa

耐压

3MPa

漏气率

1×10-8SCCSHe

密封材料

氟橡胶(或氯丁橡胶)

电插头形式

DB15 pin(Female)

接头选择

VCR

1/4””φ4hoseφ6hose

Swagelok

1/4”φ3φ6mm

重量

0.92Kg



 

 


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