D07-7BM 型质量流量计
标 准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA,-15V,50mA
输出电压检测…………0～+5.00V
技术参数：
| 满量程流量范围(N2) | 5SCCM～10SLM | |
| 控制范围 | 2～100％F.S. | |
| 准确度 | ±1.5％F.S. | |
| 线性 | ±(0.5～1.5)％F.S. | |
| 重复精度 | ±0.2％F.S. | |
| 响应时间 | ≤7sec | |
| 工作温度范围 | 5～ | |
| 工作压差 | ＜0.01MPa | |
| 耐压 | 3MPa | |
| 漏气率 | 1×10-8SCCSHe | |
| 密封材料 | 氟橡胶(或氯丁橡胶) | |
| 电插头形式 | DB15 pin(Female) | |
| 接头选择 | VCR | 1/4””或φ4hose、φ6hose |
| Swagelok | 1/ | |
| 重量 | 0.92Kg | |
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