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D07-11C 质量流量控制器/流量计(MASS FLOW CONTROLLER)

型    号:D07-11C
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质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业

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D07-11C 质量流量控制器/流量计(MASS FLOW CONTROLLER)

技术参数:

满量程流量范围(N2)

5SCCM30SLM

控制范围

2100F.S.

阀类型(及阀初始状态)

电磁调节阀(常闭)

准确度

≤10SLM

±1F.S.

10SLM

±2F.S.

线性

≤10SLM

±0.51F.S.

10SLM

±2F.S.

重复精度

±0.2F.S.

响应时间

4sec

工作温度范围

545

工作压差

≤10SLM

0.20.8MPa

10SLM

0.20.6MPa

耐压

10MPa

漏气率

1×10-9SCCSHe

密封材料

氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶

接头选择

VCR

1/4”

Swagelok

1/4”1/8”φ3φ6mm

电插头形式

DB15 pin(Male)

抗电磁干扰

CE

重量

1.2Kg

 


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